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용인시디지털산업진흥원-플라즈마 공정장비 지능화연구단 ‘맞손’
국용진 기자  |  ysidej@hanmail.net
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승인 2021.02.26  16:39:47
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▲ (용인시디지털산업진흥원 전경)

[Y사이드저널 국용진 기자] 용인시디지털산업진흥원(원장 김윤석)이 정부출연 연구기관인 한국핵융합에너지연구원의 플라즈마 공정장비 지능화연구단(단장 윤정식)과 협약을 맺었다.

2월26일 용인시디지털산업진흥원에 따르면, 이번 협약은 반도체 공정용 플라즈마 소재·부품·장비 융합 기술 플랫폼 구축을 위해서다.

협약은 ▲공동연구 및 기술개발을 위한 사업의 기획·발굴 수행 ▲플라즈마 소재·부품·장비 융합 기술 플랫폼 구축과 지원 ▲플라즈마 장비‧부품‧소재 융합 기술의 기업지원 및 기술사업화 협력 등을 내용으로 담고 있다.

용인시디지털산업진흥원은 “이번 협약이 용인시 반도체 소재‧부품‧장비 기업과 ‘용인 반도체 클러스터’와 ‘소재‧부품‧장비 특화단지’ 등 반도체 산업단지 조성으로 대거 유입될 신규 소재‧부품‧장비 기업의 경쟁력 강화에 도움이 될 것으로 기대된다”고 밝혔다.

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